自动驾驶展:自动驾驶技术如何成为半导体生产的新晋网红?

 

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提起自动驾驶技术你会想到什么?

想必大部分人第一时间想到的都是自动驾驶汽车吧。随着科技的进步,自动驾驶汽车已经处于人工智能与汽车工业的交叉口,这无疑为交通产业的发展提供了令人兴奋的新机遇。不过,我们都知道自动驾驶技术的商业化还需等待技术的成熟与监管体系的建立。

那么,自带网红特质的自动驾驶技术又是如何在半导体生产中应用的呢?看完这波操作你就知道了。

目前,在半导体的生产线上,三星已经采用了与自动驾驶拥有很多相似之处的系统,这个系统主要运用空中吊运(Overhead Hoist Transport,简称OHT)设备,它是一种自动化搬运装置,能够自动地为半导体制造设施运输物料。

OHT:自动化系统的核心设备

如果我们做一个形象的比喻,OHT其实可以被看作是一种自动驾驶车辆,而它的乘客则是半导体“晶圆”。在半导体的制造过程中,晶圆是单晶硅锭的薄圆形切片,它是制造集成电路的主要部件。

在成为一个完整的产品前,一片晶圆将经历数百个物理和化学的步骤。尤为关键的是,工厂要能确保晶圆有效地输送至半导体制造设施。

为实现这一点,三星采用OHT设备,用于自动将晶圆输送到半导体生产过程的每个阶段。一般情况下,晶圆会被装入到一种叫做“FOUP”(Front Opening Unified Pod)的特殊容器里;然后,OHT“车辆”带着它们,穿梭在程序设定好的复杂线路上。

安全传感器下的稳定“交通”

OHT“车辆”经常会沿着不同的路线行驶,并且往往在轨道交叉口处还会遭遇其他OHT“车辆”。为确保“交通”稳定且无碰撞,每一辆OHT“车辆”和每一个交叉口处都安装有传感器。当传感器在指定区域内检测到两辆以上的OHT“车辆”时,OHT“车辆”将自动减速,以确保安全运输。在半导体制造所采用的诸多技术中,这是同时利用软件功能和硬件功能的一个非常好的例子。

更重要的是,正如汽车仪表盘能显示实时仪表和警报一样,OHT系统搭载众多传感器,可实时监控机器运转的状况,为需要检查或更换的部件提供诊断。

全面管理,提高生产效率

显而易见,使用OHT自动化设备,能显著提高生产效率,它就像我们城市里一个精心设计的交通运输系统一样,可确保交通运行高效、通畅。如果沿着直线轨道行驶,OHT“车辆”的平均行驶速度可以达到5米/秒(18公里/小时);而如果线路是弯道,其平均速度则为1米/秒(3.6公里/小时)。

OHT“车辆”的信息,可即时通过无线网络传输至安装在集成控制系统里的中央服务器,该系统可以全面了解半导体制造过程中每一台OHT“车辆”的运行轨迹,就像我们城市里的交通控制中心一样,可监控整个城市的交通流量。集成控制系统不仅能监控OHT“车辆”的整体流量,还能实时监控每辆OHT“车辆”的等待时间,并确保它们在预定的时间内沿着指定路径进行移动。

在许多方面,OHT系统都能为我们实际生活中的自动驾驶汽车提供学习、借鉴的经验。无需司机,它就可以更快、更高效地运送乘客。通过研发OHT系统,三星将继续搭建和运营更加智能化的半导体制造设施。

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来源:中国三星